Textul licitației

ystem ermöglicht die Herstellung von mindestens vier unterschiedlichen, untereinander mischbaren dielektrischen Schichtmaterialien mittels sputtern oder besser reaktiven sputtern. Die prozessbegleitende Kontrolle der aufgebrachten Schichten erfolgt mittels eines breitbandigen optischen Messsystems direkt auf der Probe oder auf einem Referenzstück neben ihr. Ein Loadlock-System erlaubt das Ein- und Ausschleusen von Proben bis zu einer Größe von 4 Zoll. Gesucht wird ein Gesamtsystem mit anwenderfreundlicher Software und etablierten Rezepten für einen flexiblen und reproduzierbaren Prozess. Die detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte dem anliegenden Kriterienkatalog in den Vergabeunterlagen.Identificatorul procedurii: f2c78e3d-749f-463d-adf6-6238fcc0e5dfIdentificator intern: 200/65/24/2Tip de procedură: DeschisăProcedura este accelerată: nu2.1.1. ScopNatura contractului: BunuriClasificarea principală (cpv): 38000000 Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor)2.1.2. Locul de executareAdresă poștală: Universität Paderborn Warburger Str. 100 Localitate: PaderbornCod poștal: 33098Subdiviziunea țării (