Textul licitației

sibles et des couches associées automatiquement. Il sera interfacé à un scanner 248 nm et devra intégrer les modules nécessaires pour les procédés de lithographie optique, et plus particulièrement l’usage d’un scanner KrF, développés par le CEA-Leti. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Logiciel pour l’écriture des recettes hors-ligne (§3.3.1) - Options avec chiffrage facultatif : o OPT2 : Module d’étalement de bord de plaque (§3.1.1) o OPT3 : Module de mesure de déformation et de bow des plaques) (§3.1.1) o OPT4 : Formation à la Maintenance de 1er niveau (§9) o OPT5 : Formation à la Maintenance avancée (§9) o OPT6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (§3.2.6) o OPT7 : Transformateur électrique (§4.1.4) o OPT8 : Deuxième année de garantie (§11.1)Identificatorul procedurii: 0eebefb9-29c7-4dda-bb3a-a0418adbe155Identificator intern: PN-B24-04592-STTip de procedură: Negociată cu publicarea prealabilă a unei proceduri concurențiale de ofertare / competitivă cu negociereProcedura este accelerată: nu2.1.1. ScopNatura contractului: BunuriClasificarea principală (cpv): 31712100 Maşini şi aparate microelectronice